脉冲电子束沉积系统 Pioneer 180 PED System
产品名称： 脉冲电子束沉积系统 Pioneer 180 PED System
英文名称： PED
产品编号： Pioneer 180 PED System
产品价格： 0
产品产地： 美国
品牌商标： Neocera
更新时间： 2023-09-06T10:38:54
使用范围： null
北京正通远恒科技有限公司
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产品简介
脉冲电子束沉积（Pulsed Electron Deposition）是高能脉冲(100ns) 电子束( 约1000 A,15 keV) 在靶材上穿透将近1 um，使靶材快速蒸发形成等离子体。对靶材的非平衡提取（烧灼）使等离子体的组成与靶材的化学计量组成一致。在最佳条件下，靶材的化学计量与沉积薄膜的保持一致。所有的固态材料如金属、半导体和绝缘体等都可以用PED 技术沉积各自的薄膜。
产品特点
• 独立的交钥匙脉冲电子束沉积系统PED
• 外延薄膜沉积，多层异质结构（heterostructures）与超晶格
• 氧化物薄膜沉积时氧气兼容
• 升级选项：离子辅助PED, 连续组份沉积PED, 进样系统load-lock
• 可附加的沉积源：脉冲激光与射频/ 直流溅射
• 集成XPS/ARPES UHV 集群系统，原位高真空基片传送系统
应用领域
脉冲电子束沉积系统PED沉积的代表性材料示例
• 高温超导(HTS) YBCO( 和GdBCO) 薄膜
• 顺电(Ba-SrTiO3) 薄膜
• 金属氧化物(SrRuO3) 薄膜
• 隔热/ 音玻璃(SiO2) 膜和Al2O3 膜
• 聚四氟乙烯(PTFE) 薄膜